乐鱼登录:湘潭庞大真空:两款真空镀膜配备中心目标达世界领先水平
来源:乐鱼登录 发布时间:2026-07-14 12:33:14
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记者近来从湘潭庞大真空技能股份有限公司了解到,该企业自主研制的多室光学磁控溅射镀膜机、卧式双面磁控溅射镀膜机两款高端真空镀膜配备,经权威机构判定,中心目标到达世界领先水平,现已发动量产,行将交给国内多家头部面板及新能源企业。
真空镀膜配备是高端制作中心“工业母机”,可在玻璃、金属等基材外表镀制纳米级薄膜,有用进步手机屏耐磨性、光伏板发电功率。长期以来,国内高端真空镀膜配备商场被国外独占,国产相关工业高质量开展受限。
此次两款新设备精准破解职业两大技能难题。针对多层精细镀膜分段加工易穿插污染、良品率低的问题,多室光学磁控溅射镀膜机完结单机真空密闭一体化接连镀膜,一次性完结多层膜层堆积,大幅度的进步镀膜均匀度与产品良品率。针对大尺度超薄基板单面镀膜易翘曲变形的痛点,卧式双面磁控溅射镀膜机创始双面同步镀膜工艺,平衡基材正反应力,彻底处理翘曲问题,一起霸占镀膜打弧、制程不稳定等技能瓶颈。
庞大真空现在已累计申请专利超300项,成功获批省级真空镀膜科技成果转化中试基地,新增省级纳米膜层新材料研制团队,建满足链条立异系统。